【IoT用語集】MEMS

はじめに　 MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）=メムスは、センサ、アクチュエータ、電子回路を一つの基盤の上に微細加工技術によって集積した機器のことを指します。 電子顕微鏡レベルのミクロン単位の環境下で電子回路を必要とする際にセンサ・アクチュエータを用いて実験・製造・加工などを行えるようにしたシステムです。現在IoT端末の小型化が急務であり、その中で注目され...>>続きを読む