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半導体ファクトリオートメーション業界の原動力に焦点を置き、今話題のツールやソフトウェアを分析

世界のLTE&5G市場 – 2021年までのデータと予測 – 記事 レポートの概要 洗浄方法(シリコンウェハーなどの)は、プロセスツール内でのウェハーの処理の自動化の普及を促してきました。また、真空および大気ツールにおけるウェハー処理ロボットアームが現在標準的になりました。その一方で、ムーアの法則は、ウェハーサイズの増加とプロセスツール外に存在する自動化の主な役割を果たしま...>>続きを読む